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HOYA CANDEO OPTRONICS的激光系統HSL-4000/5000系列產品是在全世界銷售業績達到2000余臺的高信賴性修補用小型YAG激光系統。
利用HOYA光學技術上設計、制造的該系列產品擁有優秀的輸出可變性及激光輸出穩定性。
該產品可在液晶面板及半導體修補等超微精度微細加工中發揮其高加工穩定性。
且,各系列擁有6種不同型號來滿足特定客戶規格要求。
提供波長、最大輸出能量、最大功率、振幅等與加工內容相符的產品。
提供日本、臺灣、韓國、中國等國的快捷服務。
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追求微細加工及高輸出的大面積加工用激光
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實現從0.5um～300um的半導體、PFD的金屬薄膜的微小加工到彩色濾光片等大面積加工。
并且根據最大50Hz的頻率對應各種領域中的應用。根據波長吸收特點的加工適合性
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波長
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1064nm（IR）
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532nm（Green）
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355nm（UV）
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266（DUV）
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金屬材料
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鉻（Cr）
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鉻（Cr）
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鉻（Cr）
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鉻（Cr）
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鋁（Al）
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鋁（Al）
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鋁（Al）
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鋁（Al）
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ITO
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ITO
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ITO
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ITO
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銅（Cu）
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金（Au）
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鉬（Mo）
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鉬（Mo）
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鈦（Ti）
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鎳（Ni）
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鎳（Ni）
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鎳（Ni）-鉻（Cr）
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鈦（Ti）-鎢（W）
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絕緣材料
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硅氮化物
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硅氮化物
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聚酰亞胺
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聚酰亞胺
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TFT
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線路連接
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線路連接
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線路連接
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線路連接
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彩色濾光片
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RGB
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RGB
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RGB
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RGB
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彩色濾光片中異物
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彩色濾光片中異物
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CF上保護膜
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CF上保護膜
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CF上保護膜
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CF上保護膜
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半導體/FPD
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多晶硅
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多晶硅
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加工例
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Cut前
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Cut后
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Cut前
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Cut后
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加工前
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加工后
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加工后
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IC下層配線露出全景
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IC保護膜剝離全景
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彩色濾光片加工
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鉻膜加工
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刻度
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修補機及檢查機等各種裝置上安裝的高信賴性產品
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HSL-4000/5000系列產品從已往銷售業績中積累了豐富的技術經驗，因此提供客戶高信賴性產品來實現各種激光加工裝置/檢查機上的安裝使用。
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高抵抗振動激光發生器
機架采用高剛性材料。比以往提高2倍
XY動作中發揮高穩定性能
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溫度變化適應力強的激光發生器
雙線性套筒式除振器構造減輕對光路的影響
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高精度激光輸出可變系統
降低機械機構無效動作
專用軟件實現線性輸出
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高精度電動Slit
利用顯示器畫面上的電子線進行位置修正及范圍確定，因而實現正確的激光照射。
降低機械機構無效動作，實現具有再現性的線性動作
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圖1、輸出可變特性
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多功能控制箱
操作者操作必要的全部功能。
通過內存記憶4種加工條件
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高穩定性的激光輸出
激光電源中采用PFN方式
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保養性
更換燈源便利性
新設計Tiller采用[HSL-5000]，不用工具實現冷卻水及過濾器的更換
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